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問題 【管材管件】  【歸檔】15年08月04日

做個溝渠才5米寬60釐米需要材料

問題描述 做一個5米寬的溝渠需要什麼材料?
網友回答
 最佳答案 一種淺溝渠隔離結構的製造方法,於一基底上依序形成墊氧化層、罩幕層、介電抗反射塗布層與頂蓋氧化層,然後於基底中形成一溝渠。接著,再于溝渠表面形成襯氧化層,且於基底上形成絕緣層並填滿溝渠。隨後以罩幕層作為研磨終點,以使用光學終點偵測系統作終點偵測的化學機械研磨製作工藝去除罩幕層上的絕緣層、介電抗反射塗布層與頂蓋氧化層。
2015年08月04日 00:00

以化光阻層為罩幕,對該頂蓋氧化層、該介電抗反射塗布層、該罩幕層與該墊氧化層進行蝕刻,並持續蝕刻至該基底內,以形成一溝渠。

2015年08月04日 00:00

提供一基底;于該基底上形成一墊氧化層;于該墊氧化層上形成一罩幕層;于該罩幕層上形成一介電抗反射塗布層;于該介電抗反射塗布層上形成一頂蓋氧化層。

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